基板表面に溝を形成したり貫通穴をあけたりする加工法の一つにサンドブラスト加工が御座います。感光性ドライフィルムでレジストパターンを形成し、その上から空気圧で砂の粒子を叩き付けて基板表面を削って行きます。硬質ガラス、Siウエハ等に微細な加工を行う事が可能です。


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      サンドブラスト装置
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