今や、微細加工技術の1つとして、レーザビームを用いた加工処理は一般的となり、また、それを行う為の装置関連も飛躍的な進歩を遂げています。 いままで当社では、そのような装置の部品としての光学製品を供給してまいりました。特に、パターニング処理を施した反射ミラーであるレーザ用マスクは、パッケージ等へのマーキング及び微細穴あけ加工等の用途として多用されています。 フォトファブリケーションを駆使した製品ですので、ファインパターンを形成出来る事が特徴です。
製品例

・各種半導体レーザ用全反射ミラー
・ハーフミラー
・YAGレーザマーキング用ガラスマスク
・エキシマレーザ加工機用ガラスマスク等


基板:各種ガラス、金属等

表面処理:AL、Cr、Cu、Au等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング
     ガラスエッチング、サンドブラスト処理等

パターニング法:薄膜エッチング、リフトオフ、 ガラスエッチング、サンドブラスト等

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