真空蒸着法により基板上へ無機膜を多層コート致します。
多層コートによる光の干渉で特定の色のフィルターとなります。
多層コートの条件を変えることにより違った色のフィルターが出来ます。
RED・GREEN・BLUEそれぞれの条件で加工した多層膜を
同一基板上に配列パターニングすることが可能です。
BLACK(低反射Cr膜等)のパターニングと組み合わせて
FPD用のカラーフィルターとして使用出来ます。
パターニングは、膜をフォトエッチングすることが出来ないため、
リフトオフ法を使って行います。
その為、有機タイプのフィルターよりも製造時の工数が多くなりますが、
膜の耐久性においては有機タイプに比べると格段に優れています。

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